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技術(shù)文章
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    半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀
    型　號(hào)：PS-6AH
    品　牌：日本新宇宙
    技術(shù)指標(biāo)：檢測(cè)半導(dǎo)體工廠各類氣體 
    六盤(pán)水半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀-PS-6AH-日本新宇宙
    功能描述
    檢測(cè)原理： 定電位電解式，，熱線型半導(dǎo)體式，，隔膜Galvanic電池式
    檢測(cè)氣體： SiH4,PH3,B2H6等
    采樣方式： 泵吸引式
    采樣管道： 特富龍外徑6/內(nèi)徑4mm配管距離20m以內(nèi)，，但吸著性強(qiáng)的氣體最大配管距離為5m
    氣體濃度顯示： 0～9999LED顯示
    輸出信號(hào)： 4～20mA(與電源的負(fù)端共用）
    報(bào)警輸出： 第1段第2段都是開(kāi)路集電極OFF
    適合電纜: KW～P3芯或4芯
    適用溫度： 0～40℃
    電源: DC24V±10%
    消耗電力： 約10W
    物理特性
    長(zhǎng)度 198mm
    寬度 145mm
    高度 37mm
    重量 約2.7kg
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